最終更新日:
2023-11-30 13:05:32.0
石定盤ステージ表面の鏡面化を解消！液晶業界(日本・韓国・台湾・中国)で大好評中の石定盤ステージ加工方法です。
特許を取得し、新たな表面加工方法として大きな注目を集めている
レーザーを用いた石定盤ステージのメンテナンス方法です。
ダイコータ等に使用される石定盤ステージは、使用を重ねると表面が
鏡面化していきます。
鏡面化すると、剥離帯電を起こし、静電気によるパターン破壊や
張り付きによるガラス基板の破損が発生します。
従来は、"ヤスリで削る" "帯電防止剤を塗布する"
"引き剥がし速度を低下させる" など、様々な対策が行われてきましたが、
これらにはそれぞれの課題があります。
当社がご提案するレーザー研磨の技術は、これらの課題を解決し、
新たな表面加工方法として、大きな注目を集めています。
表面を削らないため定盤の平面度はかわらず、
また、削りカス(＝パーティクル)の発生懸念もありません。
さらに、作業時間も手研磨に比べ大幅に削減可能です。
【経験と強み】
■静電気の貼り付き防止だけでなく、コーティングムラが発生しにくい
加工パターンを提案
■作業記録に基づく、お客様の定盤状態の管理
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