繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対応！
当社では、フィルムや金属箔などフレキシブルな基板のクリーニング・親水化などの
表面処理に適したRtoR式の「プラズマ処理装置」を取り扱っています。
真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが
選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。
実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、
信頼性の向上とコスト低減を図っています。
薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに
大きな効果が得られます。
【特長】
■真空プラズマによる効果的な表面処理
■プラズマモードが選択可能（DC・RF／イオンガン）でプロセスの最適化
■柔軟なカスタマイズ対応
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
【カスタマイズ】
■基板加熱機構：ランプ加熱機構、メインロール加熱、メインロール冷却
■冷却機構：メインロール水冷・冷媒使用
■プロセスガス：Ar、O2、N2その他選択可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
■基板加熱機構：ランプ加熱機構、メインロール加熱、メインロール冷却
■冷却機構：メインロール水冷・冷媒使用
■プロセスガス：Ar、O2、N2その他選択可能
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神港精機株式会社 東京支店
