最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロードロックタイプぷで高温成膜でもハイスループット。
精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。
精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。
最大５元ｋソードを装備し、５元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。
６５０℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。
高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。
幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置
６５０℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。
高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。
幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置
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| 型番・ブランド名 | ＳＴＬ５５２１型 |
| 用途／実績例 |
精密レンズ金型コーティング |
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硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）
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神港精機株式会社 東京支店
