目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。
『研究開発用真空蒸着装置』は、
大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。
コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を
基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。
両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な
仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。
【特長】
■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応
■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・
有機物用蒸発源 リフトオフプロセス対応）
■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極追加対応
■サンプルテストからハードのカスタマイズ、納入後のフォローまで
一貫した顧客対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型
・電子銃蒸発源により酸化膜や高融点金属の成膜に対応
・本格的な薄膜デバイスの研究開発・試作が可能
・複数タイプのイオンプレーティング機構も装備可能
・半導体・電子デバイスから新素材・表面処理用途まで幅広い用途で実績豊富
■全手動で抵抗加熱源を基本構成とした簡易実験型
・基板の高温加熱機構や水冷機構、またはリフトオフプロセス対応など
豊富なオプションをご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型
・電子銃蒸発源により酸化膜や高融点金属の成膜に対応
・本格的な薄膜デバイスの研究開発・試作が可能
・複数タイプのイオンプレーティング機構も装備可能
・半導体・電子デバイスから新素材・表面処理用途まで幅広い用途で実績豊富
■全手動で抵抗加熱源を基本構成とした簡易実験型
・基板の高温加熱機構や水冷機構、またはリフトオフプロセス対応など
豊富なオプションをご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■大学・公的研究機関や基礎実験用 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
研究開発用真空蒸着装置
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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神港精機株式会社 東京支店
