急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングなど低温熱処理に最適なコンパクト型真空熱処理装置
実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。
高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。
太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。
急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。
長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。
標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易
長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。
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多層プリント板ベーキング 小型ＦＰＤ基板アニール 薄膜太陽電池アニール・ベーキング セラミックス繊維乾燥 |
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真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）
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神港精機株式会社 東京支店
