研究開発から量産までサポート！
信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。
【特長】
●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。
●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。
●タッチパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。
【各種 選択機能】
●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化）
●高温加熱機構（800℃）
●バイアススパッタ機構
【ラインナップ】
●ロードロック式スパッタリング装置
●マルチチャンバスパッタリング装置
●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置
●サイドスパッタリング装置
●カルーセルタイプスパッタリング装置
●巻取式スパッタリング装置
●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。
●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。
●タッチパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。
【各種 選択機能】
●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化）
●高温加熱機構（800℃）
●バイアススパッタ機構
【ラインナップ】
●ロードロック式スパッタリング装置
●マルチチャンバスパッタリング装置
●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置
●サイドスパッタリング装置
●カルーセルタイプスパッタリング装置
●巻取式スパッタリング装置
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SRVシリーズ |
| 用途／実績例 |
■半導体分野■ IC、ハイブリッドICの電極、配線、絶縁層 ■電子部品分野■ ジョセフソン素子、太陽電池、オプトエレクトロニクス ■表示素子分野■ LCD、EL、LED、PDP、FED ■磁気記録分野■ 磁気ヘッド、磁気ディスク、光ディスク ■光学分野■ レンズ、ミラー、フィルター ■表面処理分野■ 装飾用、潤滑用、耐食用表面処理 |
お問い合わせ
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神港精機株式会社 東京支店
