テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

最終更新日: 2023-04-01 17:19:42.0

  • カタログ

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用:様々なプロセス環境に対応 小規模生産も可能なマルチ雰囲気ウエハーアニール装置

◉Max2000℃(真空中1x10-5Torr, N2, Ar)
◉3種類のヒーター材質:
・高純度グラファイト:Φ6〜Φ8inch
・SiC3(炭化珪素)コーティング:Φ4〜Φ8inch
・TiC3(チタン・カーバイド)コーティング:Φ4〜Φ8inch
◉使用雰囲気:
・真空・不活性ガス(グラファイト)
・還元雰囲気(TiC3コーティング)
◉試料台サイズφ4inch〜φ8inch

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。

◆主な特徴◆
・セミオート:真空・パージ(3 cycle)〜 ベントまでを自動シーケンス制御(標準)
・手動プロセス圧力制御(標準):手動ベローズバルブ調整
・有効加熱範囲:φ4-φ8inch(その他サイズ可能)
・高真空対応(ターボ分子ポンプ)
◆オプション◆
・フルオート自動プロセス運転(オプション)
・自動APC制御(オプション):
-1) Upstreamコントロール:MFC供給量をPIDループ自動制御、又は
-2) Downstreamコントロール:排気側開度自動調整
・基板回転機構
・SECS/GEM通信
価格情報 -
詳細当社までお問い合わせ下さい。
納期 お問い合わせください
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型番・ブランド名 MiniLab-WCF
用途/実績例 ◆主な応用アプリケーション◆
・ワイドギャップ半導体 結晶成長およびデバイス作製プロセス中での高温アニール
・窒化物半導体結晶 エピタキシャル成長プロセス中での高温アニール
・新素材開発
・その他各種先端材料基礎開発に応用

詳細情報

CCコンポジットヒーターエレメント
CCコンポジットヒーターエレメントを標準採用
・Φ2inch、Φ4inch、Φ6inch、Φ8inchまで標準対応
・Single Zone、もしくはDual Zone制御式(*2inchはSingle Zoneのみ)

CCCヒーターエレメント.jpg

ウエハーホルダー 8inch用参考例(2inchウエハーx7枚設置可能)
ご要望によりご指定形状・材質のウエハーホルダーを作成いたします。

iPROS_550-a.png

PIDデジタル温度調節計
標準採用機種
・Eurotherm社 nanodaq series

PID-controller.jpg

トップローディング式チャンバー

iPROS_550-b.png

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