小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。
マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。
グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。
フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。
◉ 最大基板サイズ：Φ6inch
◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式（最大4源）
◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc
◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源）
◉ ドライエッチング
◉ グローブボックス搭載可能（オプション 要仕様協議）
◉ その他オプション：
2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。
※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
【スモールフットプリント・省スペース】
・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm
【優れた操作性・直観的操作画面】
Windows PC、または７”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。
【主仕様】
◉ チャンバ：SUS304製 クラムシェル式
◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納
◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション）
◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議）
◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc..
＊その他のMiniLabシリーズ詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MiniLab-LT26A |
| 用途／実績例 |
・電子部品 ・光学膜 ・反射防止膜 ・有機トランジスタ、有機EL |
詳細情報
Helical Coil Filament
Model. MiniLab-LT26Aチャンバー内レイアウト
*写真は3極式。予備ポートを多数備えたベースチャンバで、配置変更/増設を容易に行う事ができます。
Basket type thermal source
MiniLab-LT26A抵抗加熱蒸着装置用
バスケットタイプx4極式
有機材料蒸着源セル LTES-1cc or 5cc
Organic source cell for MiniLab series
容易に材料補充時のルツボ着脱作業が可能
アルミナ or 石英ルツボ
温度制御範囲80〜600℃
UHV対応
専用コントローラ LTEC-1S（1ch）, LTEC-4S（4ch）にて高精度PID自動膜厚ループコントロールが可能（±0.1Å/sec）
LT26A_Glovebox-system-installed-1
LT26A_Glovebox-system-installed-1
LT26A_Glovebox-system-installed-2
LT26A_Glovebox-system-installed-2
関連ダウンロード
真空蒸着装置『MiniLab-026』
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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テルモセラ・ジャパン株式会社
