最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装置作製実績があります（2インチウェハ使用）
装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！
幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。
300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。
設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対応できます！
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理機能を搭載。
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、フルカスタマイズ・低価格を実現しました。
ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■低価格を実現
■自動ウェハサイズ認識システム
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■ウェハ搬送置台：1組
■スピン塗布ユニット：1組
■ウエハサイズ：Φ1～2"
■レジスト滴下ノズル：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）300×1800×1800(Φ4"本体)
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | パワーデバイス関連に実績があります。 ポリイミド、低粘度レジストでの実績多数。 小口径Φ2インチで装置幅300mm ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 |
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