最終更新日:
2020-11-24 11:56:42.0
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能搭載のオートマスクアライナ―。オーダーメイドも可能！
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。
フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。
超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■マスクサイズ：□3"～□7"
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4"
■カセットステージ：2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組
■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W) UV-LED光源も対応可能
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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