高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります!
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。
ベローズポンプやシリンジの対応も可能です!
マニュアル機~フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。
ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■高粘度塗布でも高均一性(一度塗り)
■低価格を実現
■自動サイズ認識
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ:2組
■スピン塗布ユニット:2組
■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12"
■レジスト滴下ノズル:2組
■ベークユニット:2組(Max200℃)
■クーリングユニット:1組
■センタリングユニット:1組
■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット)
その他オプション多数!
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※ 4~5ヶ月(通常)、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ