最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。
塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。
ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。
ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■低価格を実現
■ウェハサイズを自動認識して処理
■多彩な薬液に実績あり
■フットプリントの低減
■省レジストで多数のオプション
■生産量に合わせたラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン塗布ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■レジスト滴下ノズル：2組
■ベークユニット：2組（Max200℃）
■クーリングユニット：1組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体)
1600×2500×1800(Φ12"本体)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | LED、LD、MEMS、SAW、パワーデバイス関係に多数の実績があります。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 |
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