最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。搬送系が無い低価格手動マスクアライナー。
当製品は、手動一括等倍露光マスクアライメント装置です。
基板を露光ステージにセットし、露光を行う装置です。
ウエハを露光ステージへ手動でセッティング。
面倒なフォトマスクとウエハの平行調整やギャップ調整は自動で行います。
また，超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。
ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
基板が特殊等のオーダーメイドも承ります。
【特長】
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能搭載
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■多品種少量生産、研究、開発用途に好適
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現
■超精密UVWステージ搭載
■特殊基板等のオーダーメイド可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■マスクサイズ：□3"～□7"
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6",角基板 □2"～4"
■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W) UV-LED光源も対応可能
■アライメント動作：オートアライメント⇔マニュアルアライメント切換え可能
■搬送方法：ウエハを露光ステージへ手動でセット
■平行、ギャップ調整：自動
■装置サイズ：(例)1200×1050×2100(本体)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 5～6ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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