最終更新日:
2024-03-21 10:41:05.0
裏面アライメントがないので低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に最適な装置を実現しました。
『AMA6000』は、自動一括等倍露光マスクアライメント装置です。
ASAPのマスクアライナーはマスクと完全非接触でウェハとのギャップ管理を行います。
非接触もできますが、ソフト、ハードコンタクトにも対応。
低価格、コンパクト、簡単操作を実現しました。
【特長】
■完全非接触での平行出し&露光
■省スペース&簡単メンテナンス
■オートアライメント
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産に好適
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■マスクサイズ：□3"～□7"
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6"
■装置サイズ：1200×1200×1900(本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
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