最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です！
枚葉式フォトレジスト現像装置です。
パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。
薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！
また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。
当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット）
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
TMAH（水酸化テトラメチルアンモニウム）、炭酸ナトリウム、コリン水溶液など多彩な薬液に実績があります。
【特長】
■安定した現像プロセス！
■低価格
■自動サイズウエハ認識
■多彩な薬液に実績あり
■仕様に合わせたコンパクト設計！
■生産量に合わせた装置ラインアップ
デモ設備は常設しておりますので、デモのご検討をお願いいたします。
基本情報
【主な仕様】
■カセットステージ：2組
■スピン現像ユニット：2組
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12"
■現像ノズル：1組/CUP
■リンスノズル：1組/CUP
■ベークユニット：4組（Max200℃）
■クーリングユニット：2組
■センタリングユニット：1組
■装置サイズ：（例）1400×1100×1800(Φ4"本体)
400×900×1800(薬液供給＋電源BOX)
■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット）
その他オプション多数！
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | パワーデバイス、SAWフィルター、LED、LD等の分野に多数の実績がございます。 |
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