当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。
ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。
ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。
また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありません。
使用薬液は純水ですが、仕様によってはNMP等の有機溶剤も
選定可能です。
【特長】
■高圧ジェット方式による高い洗浄力
■2流体、1流体スプレーノズル等の方式が選択可能!
■高圧ジェットと2流体、1流体スプレーとの組み合わせもが選択可能
■パーティクル再付着なし
※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■ウェハサイズ:φ2"~φ8"まで対応可能
■使用薬液:純水、NMPなど
■装置サイズ:1330×1550×1900(φ8" 2カップ時、本体)
■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数!
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報 | - |
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納期 |
お問い合わせください
※ 4~5ヶ月(通常)、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | ウエハ洗浄、マスク洗浄 |
お問い合わせ
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株式会社エイ・エス・エイ・ピイ