最終更新日:
2024-12-16 08:50:45.0
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます!
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体です。
【特徴】
・各種産業用構造部品として幅広く利用
・吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体
・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性
・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている
・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する
【ADSの用途】
・エッチング、アッシング装置用部品
・CVD装置用部品
・ウェーハ研磨用ラッププレート
・ウェーハ搬送用アーム
・各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。
※詳しくはお問い合わせください
基本情報
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体です。優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性から、各種産業用構造部品として幅広く利用されています。さらに、酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有することから、半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっています。
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用途/実績例 | 【主な用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・ウェーハ研磨用ラッププレート ・ウェーハ搬送用アーム 各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 |
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