株式会社渡辺商行

IPA蒸気乾燥装置

最終更新日: 2023-11-01 10:43:30.0
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。

【特徴】
 ・4インチ~8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置
 ・ウォーターマークフリー
 ・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
 ・微細パターンへ対応可能
 ・高スループット対応

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

基本情報

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。
スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H)
●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水
●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

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用途/実績例 【用途】
 ・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥

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