株式会社渡辺商行

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

最終更新日: 2023-11-01 10:40:28.0
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置

AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。

【特徴】
 ・156mm角/125mm角ウェハ対応
 ・1500枚/hの高生産性
 ・太陽電池用薄型ウェハ対応
【用途】
 ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG)
 ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG)
 ・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG)

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

基本情報

太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド(ガスノズル)と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。
また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。
●装置サイズ(mm): 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)
●成膜温度: ~430℃

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 AMAX1000S
用途/実績例 【用途】
 ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG)
 ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG)
 ・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG)

【納入実績】
 ・国内外太陽電池セルメーカー

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