株式会社渡辺商行

ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」

最終更新日: 2023-11-01 11:18:39.0
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。

ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。
これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。

【ガラス状カーボン共通の特徴】
 ・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵
 ・気体・液体の不透過性
 ・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能)
 ・高耐熱性、X線高透過性

【ガラス状カーボンビーズの特徴】
 ・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能
 ・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
 ・気孔のない緻密な等方性組織
 ・中心粒径100μm、200μm

【多孔質ガラス状カーボンの特徴】
 ・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する
 ・真空チャック用途などに使用実績あり

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

基本情報

ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。
製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【主な用途】
 ・プラズマエッチング、CVD装置用部材
 ・スパッタリングターゲット
 ・高純度耐薬品性部材
 ・分析装置用部材
 ・X線機器用部材
 ・造孔材(ガラス状カーボンビーズ)
 ・フィラー(ガラス状カーボンビーズ)
 ・真空チャック用部材(多孔質ガラス状カーボン)
 ・各種フィルタ(多孔質ガラス状カーボン)
 ・ガス拡散用部材(多孔質ガラス状カーボン)

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