株式会社渡辺商行

SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」

最終更新日: 2023-11-01 11:17:39.0
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。

超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。

◆コストダウンに貢献
 ・長期のリサイクル使用が可能
 ・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている
 ・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる

【特徴】
 ・高純度(純度はppmレベル)
 ・高耐酸化性(長期間酸化雰囲気で使用可能)
 ・高耐食性(Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能)
 ・低拡散係数(表面汚染のSiC内部拡散は困難)
 ・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献

※詳しくはお問い合わせ下さい。

基本情報

超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに貢献いたします。

※詳しくはお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【主な用途】
 ・LP-CVD工程用ダミーウェハ
 ・高温拡散工程用ダミーウェハ
 ・CMP工程用ダミーウェハ(シーズニング用途)

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社渡辺商行

製品・サービス一覧(53件)を見る