株式会社渡辺商行

レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」

最終更新日: 2023-11-01 11:37:18.0
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能!

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。

【特徴】
■高帯電防止性能
 高帯電防止性能により、静電気等も安心
■低アウトガス・低汚染
 クリーンな環境にて使用可能

※主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり
※詳しくはお問い合わせ下さい。

基本情報

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。
高帯電防止性能に優れているので、使用する際は静電気の発生を防ぎます。低アウトガス・低汚染により、クリーンな環境化で使用可能です。またレチクルとの接触部を最小にすることで、パーティクルの発生が抑制されます。

※詳しくはお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
 ・露光機の使用に必須なレチクルの保管
 ・主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり

お問い合わせ

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