株式会社渡辺商行

ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」

最終更新日: 2023-11-01 10:44:17.0
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能

ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。

【特徴】
 ・4インチ~8インチウェハ用移載機
 ・CR内でのウェハの自動移載が可能
 ・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

基本情報

ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。
・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
 ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載

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