最終更新日:
2024-12-16 08:50:23.0
優れた耐食性と物理特性がラインの信頼性を築きます!
CERASIC常圧焼結SiCセラミックスは耐磨耗・耐食性が要求される機械部品に最適な材料です。
半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められており、高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。
【特徴】
・高強度
・高耐摩耗性
・高耐食性
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基本情報
クアーズテック株式会社のCERASIC常圧焼結SiCセラミックスは高温強度を必要とする場合はもちろん、耐摩耗・耐食性を要求される機械部品に最適な材料です。また、半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められています。高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【主な用途】 ・シリコンウェーハ用部材 (フォーク、ラッププレート、ステージ部材、サセプター、チャック、ミラー) ・FPD製造用部材 (大型チャック、スライダー) |
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