最終更新日:
2024-12-16 08:29:33.0
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
【特徴】
・4インチ~8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置
・ウォーターマークフリー
・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
・微細パターンへ対応可能
・高スループット対応
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
基本情報
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。
スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H)
●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水
●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥 |
お問い合わせ
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