最終更新日:
2024-12-16 08:30:04.0
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
【特徴】
・4インチ~8インチウェハ用移載機
・CR内でのウェハの自動移載が可能
・2カセット同時やピッチ変換・Face to Face (Back to Back)等の機能を付加可能
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
基本情報
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能です。
・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ・拡散工程/洗浄工程前後の運搬カセット-プロセス専用カセット間のウェハ移載 |
お問い合わせ
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