超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
◆コストダウンに貢献
・長期のリサイクル使用が可能
・超高純度で耐食性及び耐熱性に優れている
・長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減につながる
【特徴】
・高純度(純度はppmレベル)
・高耐酸化性(長期間酸化雰囲気で使用可能)
・高耐食性(Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能)
・低拡散係数(表面汚染のSiC内部拡散は困難)
・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に貢献
※詳しくはお問い合わせください。
基本情報
超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに貢献いたします。
※詳しくはお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【主な用途】 ・LP-CVD工程用ダミーウェハ ・高温拡散工程用ダミーウェハ ・CMP工程用ダミーウェハ(シーズニング用途) |
お問い合わせ
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