ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。
これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
【ガラス状カーボン共通の特徴】
・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵
・気体・液体の不透過性
・高純度 (製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能)
・高耐熱性、X線高透過性
【ガラス状カーボンビーズの特徴】
・滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用可能
・熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
・気孔のない緻密な等方性組織
・中心粒径100μm、200μm
【多孔質ガラス状カーボンの特徴】
・ガラス状カーボンの特性に、さらに通気性、通液性を有する
・真空チャック用途などに使用実績あり
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基本情報
ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。
製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。
滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【主な用途】 ・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材(ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー(ガラス状カーボンビーズ) ・真空チャック用部材(多孔質ガラス状カーボン) ・各種フィルタ(多孔質ガラス状カーボン) ・ガス拡散用部材(多孔質ガラス状カーボン) |
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