最終更新日:
2024-12-16 09:05:21.0
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。
この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。
【特徴】
・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。
・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。
・黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。
・黒鉛材料のガス透過を抑えます。
・黒鉛材料の様々な形状への対応が可能です。
・金属、ガラスとの反応性を抑えます。
※詳しくはお問い合わせください。
基本情報
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。
※詳しくはお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ・半導体製造用治具 ・FPD製造用治具 ・電子部品組立用治具 ・蒸着用ルツボ ・ハーメチックシール用治具 ・高温および真空部品 ・その他の黒鉛加工品 |
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