真空用 高温るつぼ加熱ヒーター。有機蒸着源 800℃、金属蒸着源 1500℃、としても利用できるバーサタイルなヒーターユニット
HTEヒーターは最高使用温度は1500℃の超高温真空用加熱ヒーターユニットです。
蒸発温度の高い材料も使用することができますので、有機EL等の低温有機蒸着（～ 800℃）・高温抵抗加熱蒸着（～ 1500℃）など、真空蒸着成膜用としても様々な用途に応用いただけます。真空成膜用蒸着ソースとしてお使いの場合はシャッター・アクチュエータも追加可能。
800℃以上の高温ヒーターとしてお使いの場合は、内部シールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計。
シャッターはフリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。
上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。
本体部は、1cc 坩堝用（最大充填量1.5cc）、10cc 坩堝用（最大充填量15cc）があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。
熱電対は2 種類、K タイプ、C タイプのいずれかをご指定いただけます。
るつぼ：アルミナ（標準）、石英、PBN、カーボンが選択できます。
【主仕様】
■最高制御温度：800℃、又は1500℃
■使用環境：真空中・不活性ガス（*O2 は800℃まで）
■ヒーター：タングステンフィラメント
■るつぼ容積：1cc（最大充填量1.5cc）
■るつぼ材質：アルミナ（標準）
■ケース材質：SUS304, 又はモリブデン
■熱電対：K タイプ、又はC タイプ
【オプション】
⚫︎るつぼ材質：PBN, グラファイト, 石英
⚫︎ヒーター：NiCr 線, カンタル線
⚫︎るつぼ容積：10cc（最大充填量15cc）
⚫︎シャッター：空圧式, 又はモーター駆動
⚫︎水冷ジャケット
⚫︎コントローラー（ヒーター・シャッター制御ボックス）
■最高制御温度：800℃、又は1500℃
■使用環境：真空中・不活性ガス（*O2 は800℃まで）
■ヒーター：タングステンフィラメント
■るつぼ容積：1cc（最大充填量1.5cc）
■るつぼ材質：アルミナ（標準）
■ケース材質：SUS304, 又はモリブデン
■熱電対：K タイプ、又はC タイプ
【オプション】
⚫︎るつぼ材質：PBN, グラファイト, 石英
⚫︎ヒーター：NiCr 線, カンタル線
⚫︎るつぼ容積：10cc（最大充填量15cc）
⚫︎シャッター：空圧式, 又はモーター駆動
⚫︎水冷ジャケット
⚫︎コントローラー（ヒーター・シャッター制御ボックス）
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 受注後約6週間 |
| 型番・ブランド名 | HTEヒーター Max1500℃ |
| 用途／実績例 | 高真空中るつぼ加熱ヒーター、真空蒸着用 有機材料蒸着源、高温蒸発金属蒸着源など。 |
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◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
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