当製品は、半自動両面同時露光装置です。
ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。
マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。
アライメントなしのfast露光モード、
ウエハとマスクのアライメントを主導で行うアライメント露光モードを
レシピで選択。
ベルト搬送方式の特徴を生かし、fast露光モードは高タクトで処理が可能。
上下マスクの位置合わせ、マスク―ウエハの位置合わせはI.Fを同一とし
操作が煩雑になる事がありません。
また、マスクの交換も簡単に行えます。
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■両面同時露光
■fast露光モード、アライメント露光モード
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■ベルト搬送方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■マスクサイズ:□5"~□7"
■ウエハサイズ:Φ4"~Φ6"
■カセットステージ:ローダー、アンローダー各2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組
■露光光源:超高圧水銀灯(250W,500W) UV-LED光源も対応可能
■装置サイズ:(例)1800×1000×1900(本体)
■搬送方法:ベルト搬送方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※ 5~6ヶ月(通常)、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ