最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現！
【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！
●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！
・高温ベークで取れづらくなったレジスト
・ドライエッチング後のレジスト
・微細パターンの奥深くのレジスト
また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！
厚膜のメタル、酸化膜など、エッチングで困難な厚膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。
●薄型ウェハにも対応！
高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。
弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa）
デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。
【特長】
■DIP並みの膨潤！
■MAX20MPaの超高圧ジェット
■【膨潤＋超高圧ジェット】の繰り返し処理可能！
■バリの除去
■メタルの再付着なし
■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄で使用可能
まずはデモのご検討をお願いします！
基本情報
【主な仕様】
■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能
■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液
■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液
■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応)
■消火器システム
その他オプション多数！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 4～5ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 用途／実績例 | VCSEL、LED、LD、SAWフィルター、MEMS等各メーカーにてご採用いただいております。 |
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