最終更新日:
2023-04-04 17:24:46.0
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。
弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。
超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で
フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。
露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。
マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。
【特長】
■i線（365nm)、H線（405nm)に対応！（g線はご相談ください）
■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光
■オートアライメント機能
■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能
■省スペース&簡単メンテナンス
■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適
■超精密UVWステージ搭載
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な仕様】
■マスクサイズ：□3"～□7"
■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4"
■カセットステージ：2組
■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組
■露光光源：i線LED光源(500W相当)
■オートアライメント機能搭載(FAST社製)
■装置サイズ：(例)1200×1200×1900(本体)
■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | ウェハサイズやオプションの仕様により価格が変わりますので、詳細はお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※ 5～6ヶ月（通常）、状況によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | AMA6000 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
