ファインテック日本株式会社

【技術資料】3Dパッケージングのボンディング技術

最終更新日: 2020-05-28 11:26:02.0

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高精度ダイボンディング装置「FINEPLACER sigma」を用いた3Dパッケージング技術の評価報告

当資料は、3Dパッケージングで用いられる様々な接合方法について
紹介しています。

高範囲な試作研究の結果として、多バンプ数(最大143,000)、狭小ピッチ幅
(最小25μm)、および微小バンプ径(最小13μm)といった各種のチップを、
高精度ダイボンダー「FINEPLACER sigma」を用いて基板上に実装。

3Dパッケージング技術に関連する実験手法と、用いたプロセスパラメーター、
およびその結果を示しています。

【掲載内容(抜粋)】
■金属拡散(MD)接合、過渡液相接合(TLPB)
■プリ・アンダーフィルを用いた熱圧着接合
■液化固化拡散接合(SLID)
■熱圧着接合
■共晶接合
■結論

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