プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマ成膜装置『KOBUS F.A.S.T.(R)』

最終更新日: 2024-09-04 15:17:48.0
パルス機能を利用!ALDと同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能

『KOBUS F.A.S.T.(R)』は、産業向けALDレベル膜質のプラズマ成膜装置です。

パルス機能を利用することで、ALD(Atomic LayerDeposition:原子層堆積)と
同等薄膜を従来のCVDと同じ処理時間で生成する事が可能。

プロセス温度は80℃~500℃でウエハサイズは150mm、200mm、成膜速度は
0.1nm/min~500nm/minとなっております。

【仕様】
■プロセス温度:80℃~500℃
■ウエハサイズ:150mm、200mm
■成膜速度:0.1nm/min~500nm/min
■アスペクト比
 ・20:1

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

製品・サービス一覧(29件)を見る