プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』

最終更新日: 2022-11-24 20:16:38.0
表面の単原子層のエッチング!エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます!

当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置
『Takachi ALE』をご紹介します。

Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、
ALEプロセスが可能です。

表面の単原子層毎にエッチングしていく為、エッチング対象物への
ダメージを抑える事が出来ます。

【特長】
■ALEキットを搭載、ALEプロセスが可能
■表面の単原子層毎にエッチング
■エッチング対象物へのダメージを抑える事が可能

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

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用途/実績例 【用途】
■表面の単原子層のエッチング

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