最終更新日:
2022-11-24 20:16:38.0
表面の単原子層のエッチング!エッチング対象物へのダメージを抑える事が出来ます!
当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置
『Takachi ALE』をご紹介します。
Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、
ALEプロセスが可能です。
表面の単原子層毎にエッチングしていく為、エッチング対象物への
ダメージを抑える事が出来ます。
【特長】
■ALEキットを搭載、ALEプロセスが可能
■表面の単原子層毎にエッチング
■エッチング対象物へのダメージを抑える事が可能
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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用途/実績例 | 【用途】 ■表面の単原子層のエッチング ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社