プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

クライオ・プラズマ・エッチング Takachi ICP Cryo

最終更新日: 2022-11-14 11:00:50.0
当社で取り扱う、極低温環境でのエッチング装置をご紹介いたします

当社で取り扱う、『Takachi ICP Cryo』をご紹介いたします。

より異方性、高選択性が必要とされるエッチング工程で使用されます。

【特長】
■温度範囲:-150℃~+350℃
■ウエハサイズ:2"~8"

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基本情報

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