プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

成膜装置『Corial 200 Series』

最終更新日: 2022-07-21 15:11:08.0
用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成膜装置

当社の『Corial 200 Series』をご紹介いたします。

共通プラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE,
ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる
研究開発向け装置。

ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mmです。

【特長】
■共通プラットフォームを用いる
■RIE,ICP,ICP+RIE,ICP-CVD又はPECVD装置
■研究開発向け
■ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mm

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

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用途/実績例 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
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