最終更新日:
2022-07-05 16:35:31.0
色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可！
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、
ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。
幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。
また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。
【アプリケーション】
ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム、コーティング厚み測定、
ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状、
マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、
バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。
■分光干渉法：主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。
【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。
■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。
■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ，平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ、バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど |
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