量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適
■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能
■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り
■「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等のオプション対応が可能
■ベベル部汚れには「高圧Jet」「DIW2流体」で対応
■裏面コンタミフリーを基本コンセプト
◎真空チャックはコンタクト部の汚染があるため基本使いません
◎裏面リンス機能は標準搭載です。
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※類似機種の《フォトマスク洗浄機》カタログも参照ください。
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関連ダウンロード
《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置 （CMP後・研磨後洗浄）
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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