レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
当社で取扱う小型レジストコータのご紹介です。
ガラス基板にレジストコート材をスピンナーにより塗布処理。
チャンバー内気流制御、メンテ性にも気配りをしており、
レジストコート剤の粘度に応じた、好適加速度選択が可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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株式会社ソフエンジニアリング
