チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。
大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。
チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、
大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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株式会社ソフエンジニアリング
