３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査
高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
○自動検査可能
○スタンドアロンタイプもラインナップ
○マニュアルでの検査が可能
○任意のスライスレベルを設定可能
○ソーマーク除去機能
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○自動検査可能
○スタンドアロンタイプもラインナップ
○マニュアルでの検査が可能
○任意のスライスレベルを設定可能
○ソーマーク除去機能
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| 用途／実績例 |
【用途】 ○パターン付きウエハークラック検査 ○ベアウエハークラック検査 ○ウエハーエッジダメージ検査 ○ＢＧ研磨痕の評価 ○スラリーの評価 ○ガラス基盤の応力残り ○ストレスレリーフの評価 ○ＢＧテープのテンション検査 ○化合物ウエハーの歪みや傷検査 ○レンズや光学部品の脈離検査 ○圧力による各種ワークの応力歪 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 |
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高精度ウエハークラック検査装置 「スーパーマクロSM75」
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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