水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装置
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の
AR膜欠陥検査装置を取扱っています。
『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。
透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで
高速スキャン検査して欠陥検査をします。
【特長および機能】
■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査
■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物
■最小検出分解能2.8μm(1.4μm)
■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【性能】
■通常モード：5倍、分解能2.8μm、検査面/幅 3mm×80mm/sec+α
■高速モード：10倍、分解能1.4μm、検査面/幅 1.5mm×40mm/sec+α
■その他、マーキング機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■通常モード：5倍、分解能2.8μm、検査面/幅 3mm×80mm/sec+α
■高速モード：10倍、分解能1.4μm、検査面/幅 1.5mm×40mm/sec+α
■その他、マーキング機能
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| 価格情報 | |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■ガラス基板の反射防止膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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