傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現
検査装置「ウエハエッジ外観検査機」は、ウエハ外周の端面と上下の３面を同時に
高速光学画像検査により傷・異物・クラックなどの欠陥を検査します。（８”ウエハで検査時間６秒と高速です）ウエハを裏面吸着して形状をカメラ認識して外径偏芯とオリフラ位置／量を検出して検査機を制御します。新規開発のトリプル光学系とインテグレイト照明がエッジの精細画像検査を実現しました。外部もＰＩＯ制御が可能で自動機に組込むことができます。ウエハーサイズも４インチから８インチ迄、対応可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる
○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能
○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現
○オリフラ部を含めた外観検査が可能
○画像計測分解能１０μｍ
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる
○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能
○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現
○オリフラ部を含めた外観検査が可能
○画像計測分解能１０μｍ
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