透明膜の線幅測定や外観検査に最適です！
『ITO膜外観検査装置』は、フィルムやガラス基板上の透明膜の線幅測定や
外観検査を行う装置です。
特殊光学系を用いる事でタッチパネルITO膜等の透明パターンの有無や、
飛び散りを明瞭に撮像し外観測定が可能です。
フィルム全体を高速に検査し、高倍光学系で欠陥箇所を詳細にレビュー観察
することが可能です。
また、オプションにて、基板上に乗っている異物の大きさや分布も高速に
測定することができます。
ご要望により、検査範囲や測定精度のカスタマイズも可能ですので、
お気軽にご相談下さい。
【特長】
■高速に検査可能
■レビュー観察が可能
■カスタマイズ可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】
■フィルムサイズ：510mm×580mm×0.2mm
■低倍視野サイズ：約17mm×7mm
■画像分解能
・低倍画素分解能：約7μ/画素
・高倍画素分解能：約0.7μ/画素
■高倍視野サイズ：約1.7mm×1.4mm
■検査内容：ITO膜外観（パターン切れ、ショート等）
■検査時間：約60分（フィルム、低倍）
■高倍観察時間：5秒以内（XY移動、オートフォーカス含む）
■低倍検査はオートフォーカスが不要
■照明光源をストロボにする事で低倍の検査時間を高速化する事も可能（オプション）
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■フィルムサイズ：510mm×580mm×0.2mm
■低倍視野サイズ：約17mm×7mm
■画像分解能
・低倍画素分解能：約7μ/画素
・高倍画素分解能：約0.7μ/画素
■高倍視野サイズ：約1.7mm×1.4mm
■検査内容：ITO膜外観（パターン切れ、ショート等）
■検査時間：約60分（フィルム、低倍）
■高倍観察時間：5秒以内（XY移動、オートフォーカス含む）
■低倍検査はオートフォーカスが不要
■照明光源をストロボにする事で低倍の検査時間を高速化する事も可能（オプション）
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 |
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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