顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！
アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の
MEMS顕微鏡を取扱っています。
『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして
パターンズレや通り違い検査ができます。
新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で
上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で
マークズレをサブミクロン測定します。
【基本構成（抜粋）】
■MEMS 顕微鏡 本体
■三眼鏡筒
■接眼 10 倍
■XY ステージ
■カラーカメラ2台
■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト 他
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【オプション】
■対物 ELWD20,50,100(2)
■TSV 微小径深さ測定アダプタ
■厚み段差測定機、0.1μm フォカスエイド+変位計(2)カウンタ
■赤外顕微鏡ユニット Si透過画像と可視カメラ画像の比較計測
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■対物 ELWD20,50,100(2)
■TSV 微小径深さ測定アダプタ
■厚み段差測定機、0.1μm フォカスエイド+変位計(2)カウンタ
■赤外顕微鏡ユニット Si透過画像と可視カメラ画像の比較計測
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| 価格情報 | |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■パターンズレや通り違い検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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