短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。
本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。
■装置構成例
（2次元画像処理部）
・500万画素CCDカメラ
・レンズ 倍率×1.5倍
・青色LED ドーム同軸証明
・LED電源 3HC
（3次元処理部）
・130万画素CCDカメラ
・CCTVレンズ f=50mm
・赤色LED ドーム証明
・画像処理PC及びカメラ取り込みボード
カタログをご覧ください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | 基板のワイヤーボンディング外観検査に |
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