高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オーバーホール！お客様のニーズを捉えサービスをご提供。
アローズエンジニアリングは、半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、
半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売などを行っています。
「高周波電源」をはじめ、「RFマッチングボックス」や「輸送ロボット」
などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。
当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、
確かな技術と高度な知識で、様々な問題をスピィデーに解決するお手伝いをしております。
【修理・改善内容】
■高周波電源
：放熱効果の改善
■RFマッチングボックス
：過負荷や経年劣化する部品を定期交換⇒RF Matchingの機能を安定させ耐久性アップ
■搬送ロボットの修理
：ロボット、コントローラーの分解、ウエハ搬送テスト
■ＰＣＢ基板の修理
：各装置メーカーのPCB boardを修理
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の掲載内容】
■輸送ロボットの修理
■スリットバルブの修理
■O3ジェネレーター修理
■サーキュレータポンプの修理
■マスフローコントローラの修理
■ターボ分子ポンプの修理
■サーキュレターポンプの修理
■マスフローコントローラーの修理
■ポンプの修理＆オーバーホール
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■輸送ロボットの修理
■スリットバルブの修理
■O3ジェネレーター修理
■サーキュレータポンプの修理
■マスフローコントローラの修理
■ターボ分子ポンプの修理
■サーキュレターポンプの修理
■マスフローコントローラーの修理
■ポンプの修理＆オーバーホール
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