良品・不良品の判別に。簡単操作・自動補正・最大１０スペック設定可能
検査装置「パターン検査装置」は、マスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその
登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥
を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
○検査結果データを測定条件と比較し、良品・不良品を判別
○検査結果データはファイリング可能
○一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能
○検査時の画像の位置ずれを自動的に補正するので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能
○スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件を設定することも可能（最大１０スペック）
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○検査結果データを測定条件と比較し、良品・不良品を判別
○検査結果データはファイリング可能
○一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能
○検査時の画像の位置ずれを自動的に補正するので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能
○スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件を設定することも可能（最大１０スペック）
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